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單晶石墨熱場的關鍵部件
石墨坩堝：通常采用三瓣式規(guī)劃，避免硅液走漏，使用壽命可達30-50爐次。
加熱器：由等靜壓石墨制成，支持2000℃以上安穩(wěn)加熱，為單晶生長供給充足熱能。
隔熱體系：由多層石墨氈或碳纖維復合材料構成，熱反射率≥90%，可降低能耗20%-30%。
導流筒：優(yōu)化熱場氣流分布，提高熱場均勻性。
保護部件：在爐底、金屬電極、托桿等位置設置保護板或保護套，避免漏硅及機械損傷。
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